VAMAS Surface Chemical Analysis Standard Data Transfer Format 1988 May 4
XI Ltd.
XI Spectral Data Processor
XI ASCII
n-Si<110> CZ  Mitsubishi lot# 280292-00-417
1
Edge of wafer exposed by fracturing in air 90 TOA
NORM
REGULAR
6
0
0
0
0
0
6
Edge of wafer exposed by fracturing in air 90 TOA
n-Si<110> CZ  Mitsubishi lot# 280292-00-417
2003
5
10
14
39
5
0
0
XPS
X-RAY Source
1486.6
200
250
1000
55
90
FAT
156.7
1
0
0
1000
2000
55
0
data_1
data_1
-1
Binding energy
eV
1000
-1
2
counts
d
Transmission
d
pulse counting
0.2
20
4.00E-06
0
0
0
0
2002
93
166785
0.0603073
0.288006
15353
0.288006
15206
0.287179
14940
0.286357
14343
0.285538
14296
0.284724
14235
0.283913
14108
0.283106
14046
0.282304
13588
0.281505
13690
0.28071
13773
0.279919
13951
0.279132
14379
0.278348
14416
0.277569
14867
0.276793
15477
0.276021
16513
0.275252
17662
0.274487
19070
0.273726
20289
0.272968
21514
0.272214
22066
0.271464
21086
0.270717
19117
0.269973
17662
0.269233
16262
0.268497
15086
0.267764
14332
0.267034
13825
0.266308
13047
0.265585
12216
0.264866
11539
0.26415
10849
0.263437
10522
0.262727
10328
0.262021
10300
0.261318
10162
0.260618
10130
0.259922
10171
0.259228
10153
0.258538
10015
0.257851
10129
0.257167
10159
0.256486
9989
0.255808
10232
0.255134
10212
0.254462
10290
0.253793
10185
0.253128
10419
0.252465
10220
0.251805
10431
0.251149
10347
0.250495
10430
0.249844
10436
0.249196
10378
0.248551
10485
0.247909
10560
0.247269
10527
0.246633
10654
0.245999
10550
0.245368
10769
0.24474
10635
0.244114
10483
0.243492
10853
0.242872
10824
0.242254
10812
0.24164
10954
0.241028
10916
0.240418
11044
0.239812
10916
0.239208
10984
0.238606
10953
0.238007
11327
0.237411
11188
0.236817
11331
0.236226
11242
0.235637
11408
0.235051
11456
0.234467
11497
0.233886
11451
0.233308
11509
0.232731
11512
0.232157
11446
0.231586
11315
0.231017
11524
0.23045
11552
0.229886
11704
0.229324
11813
0.228765
11647
0.228208
11717
0.227653
11734
0.2271
11995
0.22655
11912
0.226002
11780
0.225456
11937
0.224913
12043
0.224372
11921
0.223833
12102
0.223296
12072
0.222761
12254
0.222229
12131
0.221699
12196
0.221171
12328
0.220645
12299
0.220121
12278
0.219599
12266
0.21908
12540
0.218563
12549
0.218047
12531
0.217534
12630
0.217023
12635
0.216514
12473
0.216007
12668
0.215502
12537
0.214999
12707
0.214498
12781
0.213999
12879
0.213502
12820
0.213007
12612
0.212514
13095
0.212022
13149
0.211533
13091
0.211046
13062
0.210561
13016
0.210077
13131
0.209596
13190
0.209116
13226
0.208638
13213
0.208163
13425
0.207688
13464
0.207216
13461
0.206746
13570
0.206277
13477
0.205811
13623
0.205346
13428
0.204883
13666
0.204422
13841
0.203962
13605
0.203504
13630
0.203048
13537
0.202594
13767
0.202141
13662
0.201691
13759
0.201242
13993
0.200794
13930
0.200349
13976
0.199905
13879
0.199462
13882
0.199022
14187
0.198583
14046
0.198146
14176
0.19771
14241
0.197276
14124
0.196844
14252
0.196413
14452
0.195984
14325
0.195556
14458
0.19513
14644
0.194706
14587
0.194283
14298
0.193862
14624
0.193443
14808
0.193024
14725
0.192608
14694
0.192193
14822
0.19178
14926
0.191368
15079
0.190957
14994
0.190548
14956
0.190141
15051
0.189735
15126
0.189331
15175
0.188928
14951
0.188526
15147
0.188126
15259
0.187728
15011
0.18733
15322
0.186935
15120
0.18654
15170
0.186148
15429
0.185756
15559
0.185366
15346
0.184978
15556
0.18459
15617
0.184205
15438
0.18382
15500
0.183437
15598
0.183055
15719
0.182675
15835
0.182296
15703
0.181918
15822
0.181542
15833
0.181167
15973
0.180793
15836
0.180421
16041
0.18005
15790
0.17968
15935
0.179312
16105
0.178945
16145
0.178579
15932
0.178214
16181
0.177851
16101
0.177489
16264
0.177128
16428
0.176769
16542
0.176411
16298
0.176054
16448
0.175698
16582
0.175343
16746
0.17499
16868
0.174638
16762
0.174287
16561
0.173937
16704
0.173589
16772
0.173242
16817
0.172896
16795
0.172551
16837
0.172207
16947
0.171864
16946
0.171523
16840
0.171183
16815
0.170844
17105
0.170506
17018
0.170169
17399
0.169833
17307
0.169499
17385
0.169165
17385
0.168833
17343
0.168502
17429
0.168172
17321
0.167843
17393
0.167515
17846
0.167189
17780
0.166863
17804
0.166538
17578
0.166215
17671
0.165893
17774
0.165571
17948
0.165251
17700
0.164932
18046
0.164614
17998
0.164297
18138
0.163981
18072
0.163666
18100
0.163352
18168
0.163039
17973
0.162727
18382
0.162416
18244
0.162106
18421
0.161797
18499
0.161489
18391
0.161182
18414
0.160877
18220
0.160572
18618
0.160268
18477
0.159965
18789
0.159663
18886
0.159362
18742
0.159062
18874
0.158763
18949
0.158465
18912
0.158168
18843
0.157872
18732
0.157577
18881
0.157283
19208
0.156989
18945
0.156697
18954
0.156406
19234
0.156115
19340
0.155825
19260
0.155537
19430
0.155249
19451
0.154962
19410
0.154676
19721
0.154391
19542
0.154107
19336
0.153824
19453
0.153542
19569
0.15326
19695
0.15298
19549
0.1527
19664
0.152421
19682
0.152143
19995
0.151866
19940
0.15159
19705
0.151315
19908
0.15104
20155
0.150767
20096
0.150494
20110
0.150222
20241
0.149951
20348
0.149681
20136
0.149411
20257
0.149143
20560
0.148875
20326
0.148608
20384
0.148342
20325
0.148077
20750
0.147812
20713
0.147548
20937
0.147285
20573
0.147023
20883
0.146762
21132
0.146502
20798
0.146242
20872
0.145983
21154
0.145725
21250
0.145468
21320
0.145211
21613
0.144955
22306
0.1447
22082
0.144446
21891
0.144193
21619
0.14394
21440
0.143688
21549
0.143437
21328
0.143186
21306
0.142937
21586
0.142688
21580
0.142439
21676
0.142192
21762
0.141945
21617
0.141699
21860
0.141454
21920
0.141209
22019
0.140965
21991
0.140722
21888
0.14048
22141
0.140238
22297
0.139997
22239
0.139757
22149
0.139518
22102
0.139279
22293
0.139041
22281
0.138803
22815
0.138566
22276
0.13833
22647
0.138095
22631
0.13786
22772
0.137626
22505
0.137393
22555
0.13716
22720
0.136928
22837
0.136697
22984
0.136466
23016
0.136236
23276
0.136007
23137
0.135779
22958
0.135551
23247
0.135323
23323
0.135097
23227
0.134871
23656
0.134645
23535
0.13442
23515
0.134196
23626
0.133973
23719
0.13375
23981
0.133528
24124
0.133306
23890
0.133085
23841
0.132865
24205
0.132645
24006
0.132426
23766
0.132208
24098
0.13199
24389
0.131773
24480
0.131556
24558
0.13134
24443
0.131125
24379
0.13091
24651
0.130696
24610
0.130483
24779
0.13027
24676
0.130057
24602
0.129846
24791
0.129634
25080
0.129424
24720
0.129214
25445
0.129004
25013
0.128795
25395
0.128587
25305
0.12838
25551
0.128172
25516
0.127966
25723
0.12776
25940
0.127555
25825
0.12735
25791
0.127145
25954
0.126942
26299
0.126739
26082
0.126536
26358
0.126334
26112
0.126132
26714
0.125931
26328
0.125731
26662
0.125531
26666
0.125332
26633
0.125133
26938
0.124935
26989
0.124737
26895
0.12454
27128
0.124344
27142
0.124147
27305
0.123952
27519
0.123757
27342
0.123562
27546
0.123368
28037
0.123175
27788
0.122982
27959
0.12279
28403
0.122598
28480
0.122406
28441
0.122215
28563
0.122025
28915
0.121835
28982
0.121646
28611
0.121457
29171
0.121269
29322
0.121081
29125
0.120893
28992
0.120707
29369
0.12052
29570
0.120334
29466
0.120149
29465
0.119964
30200
0.11978
29980
0.119596
29983
0.119412
29933
0.119229
30686
0.119047
30472
0.118865
30081
0.118683
30703
0.118502
30671
0.118322
30606
0.118142
30550
0.117962
31246
0.117783
31735
0.117604
32271
0.117426
32802
0.117248
33112
0.117071
33614
0.116894
33866
0.116718
34478
0.116542
34424
0.116366
34691
0.116191
35151
0.116017
34397
0.115843
33790
0.115669
33204
0.115496
32875
0.115323
32666
0.115151
32241
0.114979
31742
0.114807
31612
0.114636
31054
0.114466
30620
0.114295
30335
0.114126
29961
0.113956
29759
0.113788
29414
0.113619
29598
0.113451
29492
0.113284
29806
0.113116
30777
0.11295
35411
0.112783
63199
0.112617
134488
0.112452
137109
0.112287
62070
0.112122
32690
0.111958
28654
0.111794
27869
0.111631
27391
0.111468
27443
0.111305
26744
0.111143
27193
0.110981
26954
0.11082
26915
0.110659
27087
0.110498
26989
0.110338
27282
0.110178
27201
0.110019
27152
0.10986
27011
0.109701
27170
0.109543
27300
0.109385
27193
0.109228
27416
0.109071
27486
0.108914
27530
0.108758
27157
0.108602
27043
0.108447
27485
0.108292
27532
0.108137
27377
0.107982
27547
0.107829
27608
0.107675
27544
0.107522
27643
0.107369
27900
0.107216
27850
0.107064
27607
0.106912
28135
0.106761
28020
0.10661
27863
0.106459
27992
0.106309
27922
0.106159
28029
0.10601
28118
0.105861
27989
0.105712
28222
0.105563
28085
0.105415
28275
0.105267
28255
0.10512
28238
0.104973
28468
0.104826
28295
0.10468
28073
0.104534
28416
0.104388
28676
0.104243
28528
0.104098
28479
0.103953
28446
0.103809
28698
0.103665
28319
0.103522
28817
0.103378
28310
0.103235
28572
0.103093
28780
0.102951
28679
0.102809
28841
0.102667
28932
0.102526
28806
0.102385
29337
0.102245
29083
0.102104
29234
0.101964
29103
0.101825
29285
0.101686
29112
0.101547
29210
0.101408
29094
0.10127
29214
0.101132
29029
0.100994
29191
0.100857
29331
0.10072
29736
0.100583
29459
0.100447
29605
0.100311
29749
0.100175
29587
0.10004
29754
0.0999048
29562
0.09977
29732
0.0996356
30014
0.0995014
29613
0.0993676
29773
0.099234
29781
0.0991008
29761
0.0989679
30220
0.0988353
29804
0.098703
30252
0.098571
30175
0.0984393
30239
0.0983079
30145
0.0981767
30444
0.0980459
30492
0.0979154
30311
0.0977852
30375
0.0976553
30479
0.0975257
30262
0.0973964
30606
0.0972674
30616
0.0971386
30596
0.0970102
30551
0.096882
30406
0.0967542
30876
0.0966266
30920
0.0964993
31336
0.0963723
30961
0.0962456
30825
0.0961192
31226
0.095993
30696
0.0958672
31011
0.0957416
31249
0.0956163
30978
0.0954913
31266
0.0953666
31119
0.0952421
31659
0.095118
31339
0.0949941
30944
0.0948704
31330
0.0947471
31398
0.094624
31630
0.0945012
31808
0.0943787
31650
0.0942564
31640
0.0941345
32046
0.0940128
32545
0.0938913
33489
0.0937701
34510
0.0936492
32420
0.0935286
31764
0.0934082
31580
0.0932881
31986
0.0931683
31499
0.0930487
31779
0.0929294
31785
0.0928103
32044
0.0926915
32364
0.092573
31965
0.0924547
32033
0.0923367
32330
0.092219
32021
0.0921015
32264
0.0919842
32253
0.0918672
32599
0.0917505
32542
0.091634
31952
0.0915178
32607
0.0914018
32438
0.0912861
32605
0.0911707
32600
0.0910554
32453
0.0909405
32495
0.0908257
32706
0.0907113
32561
0.090597
32789
0.0904831
32724
0.0903693
32838
0.0902558
32927
0.0901426
32887
0.0900296
33232
0.0899168
33252
0.0898043
33088
0.089692
33299
0.08958
33184
0.0894682
33458
0.0893567
33460
0.0892453
33459
0.0891343
33499
0.0890234
33549
0.0889128
33448
0.0888024
33525
0.0886923
33799
0.0885824
33529
0.0884727
33656
0.0883633
34054
0.0882541
33772
0.0881451
34323
0.0880364
34101
0.0879279
34042
0.0878196
34469
0.0877115
34190
0.0876037
33993
0.0874961
34233
0.0873887
34431
0.0872815
34533
0.0871746
34337
0.0870679
34718
0.0869614
34744
0.0868552
34738
0.0867492
34710
0.0866434
35036
0.0865378
34931
0.0864324
34800
0.0863272
35510
0.0862223
34999
0.0861176
34726
0.0860131
35546
0.0859088
35405
0.0858048
35666
0.0857009
35684
0.0855973
36153
0.0854939
35835
0.0853907
36049
0.0852877
35856
0.0851849
36090
0.0850824
36638
0.08498
36296
0.0848779
36316
0.0847759
36463
0.0846742
36711
0.0845727
36740
0.0844714
36892
0.0843703
36845
0.0842694
36853
0.0841688
36704
0.0840683
36907
0.083968
37206
0.0838679
37268
0.0837681
37158
0.0836684
37271
0.083569
37292
0.0834697
37801
0.0833707
37906
0.0832718
37994
0.0831732
37776
0.0830747
37520
0.0829765
37643
0.0828784
37525
0.0827806
37495
0.0826829
37101
0.0825855
37513
0.0824882
37032
0.0823912
37103
0.0822943
37135
0.0821976
37184
0.0821012
37085
0.0820049
37622
0.0819088
38539
0.0818129
39891
0.0817172
43313
0.0816217
52800
0.0815264
69034
0.0814312
73557
0.0813363
46644
0.0812415
38326
0.081147
37682
0.0810526
37470
0.0809584
37145
0.0808644
37282
0.0807706
37458
0.080677
37178
0.0805835
37191
0.0804903
37296
0.0803972
37571
0.0803043
37724
0.0802116
37850
0.0801191
37896
0.0800268
38389
0.0799346
37938
0.0798427
37919
0.0797509
38315
0.0796593
38574
0.0795678
38460
0.0794766
38676
0.0793855
38393
0.0792946
38901
0.0792039
38981
0.0791134
39348
0.079023
39037
0.0789329
39356
0.0788429
39322
0.078753
39648
0.0786634
39948
0.0785739
39821
0.0784846
40340
0.0783955
40379
0.0783065
40482
0.0782177
40344
0.0781291
40388
0.0780407
40669
0.0779524
41000
0.0778643
40957
0.0777764
41228
0.0776886
41139
0.0776011
41704
0.0775136
41652
0.0774264
42004
0.0773393
42088
0.0772524
42356
0.0771657
42472
0.0770791
42945
0.0769927
42899
0.0769064
42728
0.0768203
43356
0.0767344
43079
0.0766487
43730
0.0765631
43893
0.0764777
43466
0.0763924
43544
0.0763073
43726
0.0762224
44305
0.0761376
44545
0.076053
45012
0.0759685
45451
0.0758842
45555
0.0758001
45823
0.0757162
46259
0.0756323
46416
0.0755487
46904
0.0754652
46818
0.0753819
46512
0.0752987
47033
0.0752157
46440
0.0751328
47072
0.0750501
46797
0.0749675
46873
0.0748852
47016
0.0748029
47420
0.0747208
48089
0.0746389
48509
0.0745571
49145
0.0744755
50340
0.074394
51147
0.0743127
51730
0.0742315
52206
0.0741505
52095
0.0740697
52526
0.073989
51850
0.0739084
51145
0.073828
50473
0.0737477
50063
0.0736676
49887
0.0735877
49805
0.0735078
50130
0.0734282
50541
0.0733487
51249
0.0732693
52643
0.0731901
53451
0.073111
55516
0.0730321
56779
0.0729533
59080
0.0728746
60804
0.0727961
60905
0.0727178
59728
0.0726396
57428
0.0725615
55778
0.0724836
53746
0.0724059
52088
0.0723282
51416
0.0722507
50653
0.0721734
50657
0.0720962
51155
0.0720191
51665
0.0719422
53100
0.0718654
54936
0.0717888
57864
0.0717123
62485
0.0716359
68983
0.0715597
75965
0.0714836
80486
0.0714077
77588
0.0713319
68295
0.0712562
59002
0.0711807
51811
0.0711053
47322
0.07103
44306
0.0709549
42717
0.0708799
41847
0.0708051
41185
0.0707304
41086
0.0706558
40951
0.0705814
42659
0.0705071
47698
0.0704329
53764
0.0703588
58686
0.0702849
85138
0.0702112
166785
0.0701375
156579
0.070064
67088
0.0699906
40620
0.0699174
33639
0.0698443
30887
0.0697713
29304
0.0696984
28138
0.0696257
27607
0.0695531
27509
0.0694807
27536
0.0694083
27734
0.0693361
28981
0.0692641
30302
0.0691921
31356
0.0691203
32776
0.0690486
34225
0.068977
34931
0.0689056
34302
0.0688343
32467
0.0687631
30013
0.0686921
27919
0.0686211
26234
0.0685503
25372
0.0684796
24646
0.0684091
24392
0.0683386
24180
0.0682683
24579
0.0681982
25517
0.0681281
26420
0.0680582
28176
0.0679883
31168
0.0679187
36663
0.0678491
43462
0.0677796
49601
0.0677103
48152
0.0676411
39324
0.067572
29933
0.0675031
23530
0.0674342
19375
0.0673655
16979
0.0672969
15374
0.0672284
14226
0.0671601
13656
0.0670918
13053
0.0670237
12236
0.0669557
12331
0.0668878
17053
0.06682
21853
0.0667524
18588
0.0666849
27893
0.0666174
112166
0.0665501
156030
0.066483
32112
0.0664159
5455
0.0663489
3858
0.0662821
3123
0.0662154
2871
0.0661488
2581
0.0660823
2451
0.0660159
2193
0.0659496
2330
0.0658835
2279
0.0658175
2222
0.0657515
2322
0.0656857
2186
0.06562
2227
0.0655545
2217
0.065489
2236
0.0654236
2273
0.0653584
2257
0.0652932
2264
0.0652282
2326
0.0651633
2325
0.0650985
2331
0.0650338
2318
0.0649692
2402
0.0649048
2458
0.0648404
2439
0.0647761
2457
0.064712
2375
0.064648
2392
0.064584
2339
0.0645202
2470
0.0644565
2410
0.0643929
2356
0.0643294
2439
0.064266
2418
0.0642027
2549
0.0641396
2538
0.0640765
2526
0.0640135
2582
0.0639507
2652
0.0638879
2577
0.0638253
2665
0.0637628
2703
0.0637003
2704
0.063638
2672
0.0635758
2488
0.0635136
2672
0.0634516
2719
0.0633897
2678
0.0633279
2670
0.0632662
2758
0.0632046
2813
0.0631431
2905
0.0630817
3039
0.0630204
3012
0.0629592
3109
0.0628981
3143
0.0628371
3081
0.0627762
3160
0.0627155
3160
0.0626548
2922
0.0625942
2971
0.0625337
2870
0.0624733
2820
0.062413
2802
0.0623528
2948
0.0622928
2914
0.0622328
3164
0.0621729
3439
0.0621131
3799
0.0620534
4299
0.0619938
5150
0.0619343
5474
0.0618749
5920
0.0618156
5430
0.0617564
4106
0.0616973
3705
0.0616383
3296
0.0615794
3241
0.0615206
3141
0.0614619
2646
0.0614032
2351
0.0613447
2160
0.0612863
2361
0.0612279
2671
0.0611697
2777
0.0611115
3279
0.0610535
3779
0.0609955
4100
0.0609377
4095
0.0608799
4504
0.0608222
4780
0.0607647
3508
0.0607072
3027
0.0606498
3343
0.0605925
3549
0.0605353
2634
0.0604781
1329
0.0604211
309
0.0603642
93
0.0603073
Edge of wafer exposed by fracturing in air 90 TOA
n-Si<110> CZ  Mitsubishi lot# 280292-00-417
2003
5
10
14
39
7
0
0
XPS
X-RAY Source
1486.6
200
250
1000
55
90
FAT
156.7
1
0
0
1000
2000
55
0
data_2
data_2
-1
Binding energy
eV
40
-0.1
2
counts
d
Transmission
d
pulse counting
0.2
50
4.00E-06
0
0
0
0
1002
69
15242
0.059744
0.0626548
7739
0.0626548
7862
0.0626487
7531
0.0626426
7750
0.0626366
7752
0.0626305
7617
0.0626245
7653
0.0626184
7656
0.0626124
7752
0.0626063
7618
0.0626002
7651
0.0625942
7576
0.0625881
7620
0.0625821
7630
0.062576
7589
0.06257
7575
0.0625639
7537
0.0625579
7597
0.0625518
7471
0.0625458
7486
0.0625397
7488
0.0625337
7494
0.0625277
7500
0.0625216
7549
0.0625156
7508
0.0625095
7428
0.0625035
7380
0.0624975
7364
0.0624914
7347
0.0624854
7369
0.0624793
7383
0.0624733
7359
0.0624673
7202
0.0624612
7386
0.0624552
7207
0.0624492
7335
0.0624432
7456
0.0624371
7359
0.0624311
7251
0.0624251
7317
0.0624191
7155
0.062413
7248
0.062407
7028
0.062401
7164
0.062395
7134
0.0623889
7139
0.0623829
7027
0.0623769
7083
0.0623709
7015
0.0623649
7053
0.0623589
7120
0.0623528
6962
0.0623468
7116
0.0623408
7190
0.0623348
7126
0.0623288
7036
0.0623228
6991
0.0623168
7089
0.0623108
7161
0.0623048
7097
0.0622988
6971
0.0622928
7059
0.0622868
7131
0.0622807
7165
0.0622747
7066
0.0622687
7185
0.0622627
7326
0.0622568
7240
0.0622508
7306
0.0622448
7228
0.0622388
7197
0.0622328
7288
0.0622268
7258
0.0622208
7260
0.0622148
7353
0.0622088
7362
0.0622028
7203
0.0621968
7541
0.0621908
7547
0.0621848
7430
0.0621789
7621
0.0621729
7663
0.0621669
7587
0.0621609
7685
0.0621549
7852
0.062149
7861
0.062143
7858
0.062137
7896
0.062131
7665
0.062125
8155
0.0621191
7991
0.0621131
8171
0.0621071
8259
0.0621011
8219
0.0620952
8462
0.0620892
8551
0.0620832
8515
0.0620773
8777
0.0620713
8844
0.0620653
8895
0.0620594
8887
0.0620534
9028
0.0620474
9149
0.0620415
9083
0.0620355
9411
0.0620295
9381
0.0620236
9525
0.0620176
9928
0.0620117
9804
0.0620057
9906
0.0619998
10020
0.0619938
10198
0.0619879
10293
0.0619819
10411
0.0619759
10783
0.06197
10881
0.061964
11043
0.0619581
11287
0.0619521
11323
0.0619462
11392
0.0619403
11400
0.0619343
11666
0.0619284
12114
0.0619224
12109
0.0619165
12408
0.0619105
12616
0.0619046
12774
0.0618987
12979
0.0618927
12823
0.0618868
13523
0.0618808
13737
0.0618749
13894
0.061869
14144
0.061863
13960
0.0618571
14138
0.0618512
14278
0.0618453
14410
0.0618393
14536
0.0618334
14638
0.0618275
14732
0.0618215
14856
0.0618156
15242
0.0618097
15126
0.0618038
14873
0.0617978
15031
0.0617919
14985
0.061786
14814
0.0617801
14845
0.0617742
14753
0.0617682
14665
0.0617623
14442
0.0617564
14249
0.0617505
13819
0.0617446
13749
0.0617387
13588
0.0617328
13229
0.0617268
12804
0.0617209
12657
0.061715
12373
0.0617091
11932
0.0617032
11936
0.0616973
11622
0.0616914
11256
0.0616855
11014
0.0616796
10704
0.0616737
10625
0.0616678
10282
0.0616619
10069
0.061656
9925
0.0616501
9852
0.0616442
9633
0.0616383
9505
0.0616324
9475
0.0616265
9332
0.0616206
9339
0.0616147
9049
0.0616088
8993
0.0616029
9030
0.061597
9041
0.0615912
8893
0.0615853
8841
0.0615794
8827
0.0615735
8770
0.0615676
8524
0.0615617
8608
0.0615558
8495
0.06155
8510
0.0615441
8661
0.0615382
8438
0.0615323
8392
0.0615264
8452
0.0615206
8441
0.0615147
8371
0.0615088
8423
0.0615029
8570
0.0614971
8344
0.0614912
8052
0.0614853
8170
0.0614795
8063
0.0614736
7951
0.0614677
7891
0.0614619
7932
0.061456
8010
0.0614501
7706
0.0614443
7468
0.0614384
7656
0.0614325
7626
0.0614267
7498
0.0614208
7366
0.0614149
7252
0.0614091
7115
0.0614032
7231
0.0613974
7082
0.0613915
6847
0.0613857
6800
0.0613798
6639
0.061374
6470
0.0613681
6505
0.0613622
6570
0.0613564
6394
0.0613506
6421
0.0613447
6210
0.0613389
6078
0.061333
6034
0.0613272
5972
0.0613213
6006
0.0613155
5863
0.0613096
5792
0.0613038
5659
0.0612979
5752
0.0612921
5699
0.0612863
5657
0.0612804
5623
0.0612746
5551
0.0612688
5698
0.0612629
5501
0.0612571
5524
0.0612513
5609
0.0612454
5592
0.0612396
5593
0.0612338
5696
0.0612279
5733
0.0612221
5896
0.0612163
5945
0.0612105
5917
0.0612046
6019
0.0611988
6250
0.061193
6175
0.0611872
6300
0.0611813
6227
0.0611755
6328
0.0611697
6434
0.0611639
6453
0.0611581
6469
0.0611522
6647
0.0611464
6570
0.0611406
6733
0.0611348
6861
0.061129
6732
0.0611232
6886
0.0611174
6758
0.0611115
6935
0.0611057
6943
0.0610999
6958
0.0610941
7160
0.0610883
7117
0.0610825
7288
0.0610767
7161
0.0610709
7395
0.0610651
7535
0.0610593
7651
0.0610535
7694
0.0610477
7769
0.0610419
7872
0.0610361
8069
0.0610303
8053
0.0610245
8283
0.0610187
8424
0.0610129
8682
0.0610071
8679
0.0610013
8847
0.0609955
9042
0.0609897
9201
0.060984
9425
0.0609782
9424
0.0609724
9589
0.0609666
9625
0.0609608
9821
0.060955
9985
0.0609492
10197
0.0609435
10189
0.0609377
10293
0.0609319
10395
0.0609261
10480
0.0609203
10510
0.0609146
10412
0.0609088
10394
0.060903
10451
0.0608972
10462
0.0608915
10665
0.0608857
10605
0.0608799
10483
0.0608741
10665
0.0608684
10494
0.0608626
10559
0.0608568
10390
0.0608511
10715
0.0608453
10606
0.0608395
10588
0.0608338
10697
0.060828
10640
0.0608222
10675
0.0608165
10895
0.0608107
10751
0.0608049
10946
0.0607992
11238
0.0607934
11356
0.0607877
11633
0.0607819
11644
0.0607762
11935
0.0607704
12099
0.0607647
11886
0.0607589
12050
0.0607531
12148
0.0607474
12164
0.0607416
11802
0.0607359
11954
0.0607301
11387
0.0607244
11196
0.0607187
11138
0.0607129
10609
0.0607072
10404
0.0607014
9832
0.0606957
9546
0.0606899
9369
0.0606842
8838
0.0606785
8657
0.0606727
8344
0.060667
8081
0.0606612
7932
0.0606555
7569
0.0606498
7500
0.060644
7440
0.0606383
7302
0.0606326
7466
0.0606268
7460
0.0606211
7560
0.0606154
7505
0.0606096
7547
0.0606039
7618
0.0605982
7734
0.0605925
7904
0.0605867
8140
0.060581
8183
0.0605753
8297
0.0605696
8392
0.0605639
8305
0.0605581
8428
0.0605524
8399
0.0605467
8590
0.060541
8753
0.0605353
8827
0.0605295
8819
0.0605238
8821
0.0605181
8678
0.0605124
8763
0.0605067
8694
0.060501
8579
0.0604953
8358
0.0604896
8401
0.0604838
8215
0.0604781
7936
0.0604724
7633
0.0604667
7395
0.060461
7396
0.0604553
7015
0.0604496
6504
0.0604439
6370
0.0604382
5888
0.0604325
5673
0.0604268
5331
0.0604211
4980
0.0604154
4500
0.0604097
4055
0.060404
3618
0.0603983
3409
0.0603926
2941
0.0603869
2543
0.0603813
2280
0.0603756
2060
0.0603699
1726
0.0603642
1422
0.0603585
1303
0.0603528
1015
0.0603471
875
0.0603414
767
0.0603358
645
0.0603301
555
0.0603244
477
0.0603187
386
0.060313
358
0.0603073
330
0.0603017
299
0.060296
306
0.0602903
294
0.0602846
258
0.060279
305
0.0602733
280
0.0602676
253
0.0602619
219
0.0602563
226
0.0602506
210
0.0602449
216
0.0602393
199
0.0602336
182
0.0602279
177
0.0602223
186
0.0602166
203
0.0602109
172
0.0602053
154
0.0601996
174
0.0601939
176
0.0601883
165
0.0601826
174
0.060177
159
0.0601713
146
0.0601656
146
0.06016
148
0.0601543
127
0.0601487
140
0.060143
153
0.0601374
127
0.0601317
130
0.0601261
126
0.0601204
129
0.0601148
124
0.0601091
142
0.0601035
144
0.0600978
110
0.0600922
153
0.0600865
128
0.0600809
137
0.0600753
128
0.0600696
111
0.060064
119
0.0600583
109
0.0600527
111
0.0600471
102
0.0600414
111
0.0600358
107
0.0600302
91
0.0600245
85
0.0600189
101
0.0600133
120
0.0600076
103
0.060002
84
0.0599964
112
0.0599907
107
0.0599851
84
0.0599795
97
0.0599738
111
0.0599682
98
0.0599626
98
0.059957
86
0.0599514
99
0.0599457
106
0.0599401
108
0.0599345
97
0.0599289
96
0.0599233
95
0.0599176
91
0.059912
86
0.0599064
86
0.0599008
101
0.0598952
79
0.0598896
92
0.059884
96
0.0598783
98
0.0598727
98
0.0598671
107
0.0598615
97
0.0598559
97
0.0598503
84
0.0598447
91
0.0598391
101
0.0598335
120
0.0598279
77
0.0598223
79
0.0598167
101
0.0598111
103
0.0598055
107
0.0597999
90
0.0597943
98
0.0597887
83
0.0597831
87
0.0597775
91
0.0597719
103
0.0597663
102
0.0597607
91
0.0597551
82
0.0597495
69
0.059744
Edge of wafer exposed by fracturing in air 90 TOA
n-Si<110> CZ  Mitsubishi lot# 280292-00-417
2003
5
10
14
39
7
0
0
XPS
X-RAY Source
1486.6
200
250
1000
55
90
FAT
55.05
1
0
0
1000
2000
55
0
data_3
data_3
-1
Binding energy
eV
295
-0.05
2
counts
d
Transmission
d
pulse counting
0.2
10
4.00E-06
0
0
0
0
802
0
5160
0.125986
0.128421
151
0.128421
146
0.128414
207
0.128408
149
0.128402
74
0.128396
228
0.12839
106
0.128383
175
0.128377
143
0.128371
44
0.128365
261
0.128359
162
0.128352
177
0.128346
88
0.12834
98
0.128334
326
0.128328
132
0.128321
177
0.128315
145
0.128309
91
0.128303
192
0.128297
164
0.128291
221
0.128284
126
0.128278
0
0.128272
117
0.128266
192
0.12826
161
0.128253
190
0.128247
204
0.128241
212
0.128235
165
0.128229
146
0.128223
153
0.128216
114
0.12821
203
0.128204
106
0.128198
205
0.128192
174
0.128185
162
0.128179
172
0.128173
222
0.128167
272
0.128161
101
0.128155
131
0.128148
181
0.128142
138
0.128136
187
0.12813
194
0.128124
230
0.128118
112
0.128111
290
0.128105
69
0.128099
68
0.128093
249
0.128087
170
0.128081
214
0.128074
90
0.128068
163
0.128062
120
0.128056
109
0.12805
230
0.128044
238
0.128037
234
0.128031
258
0.128025
136
0.128019
179
0.128013
216
0.128007
217
0.128
163
0.127994
243
0.127988
147
0.127982
184
0.127976
175
0.12797
185
0.127963
219
0.127957
187
0.127951
243
0.127945
230
0.127939
166
0.127933
286
0.127927
193
0.12792
342
0.127914
244
0.127908
246
0.127902
262
0.127896
155
0.12789
289
0.127884
339
0.127877
139
0.127871
359
0.127865
253
0.127859
257
0.127853
326
0.127847
266
0.12784
388
0.127834
242
0.127828
253
0.127822
309
0.127816
368
0.12781
356
0.127804
291
0.127797
214
0.127791
216
0.127785
279
0.127779
298
0.127773
335
0.127767
288
0.127761
321
0.127755
353
0.127748
408
0.127742
367
0.127736
427
0.12773
520
0.127724
472
0.127718
531
0.127712
492
0.127705
346
0.127699
469
0.127693
520
0.127687
500
0.127681
383
0.127675
490
0.127669
594
0.127663
421
0.127656
638
0.12765
476
0.127644
571
0.127638
618
0.127632
492
0.127626
783
0.12762
712
0.127614
634
0.127607
785
0.127601
752
0.127595
840
0.127589
871
0.127583
1078
0.127577
872
0.127571
1000
0.127565
1100
0.127558
1008
0.127552
1104
0.127546
1250
0.12754
1356
0.127534
1164
0.127528
1394
0.127522
1405
0.127516
1514
0.127509
1501
0.127503
1466
0.127497
1695
0.127491
1597
0.127485
1687
0.127479
1755
0.127473
1507
0.127467
1817
0.127461
1733
0.127454
1727
0.127448
1797
0.127442
1869
0.127436
1908
0.12743
2065
0.127424
2116
0.127418
2299
0.127412
2270
0.127406
2452
0.127399
2557
0.127393
2470
0.127387
2630
0.127381
2815
0.127375
3076
0.127369
3200
0.127363
3317
0.127357
3557
0.127351
3604
0.127345
3902
0.127338
4007
0.127332
4345
0.127326
4384
0.12732
4655
0.127314
4778
0.127308
4992
0.127302
5008
0.127296
4930
0.12729
5160
0.127284
5143
0.127277
5004
0.127271
4871
0.127265
4660
0.127259
4485
0.127253
4344
0.127247
4264
0.127241
4001
0.127235
3750
0.127229
3544
0.127223
3290
0.127217
3084
0.12721
2693
0.127204
2550
0.127198
2353
0.127192
1861
0.127186
1671
0.12718
1689
0.127174
1375
0.127168
1260
0.127162
1035
0.127156
977
0.12715
889
0.127144
715
0.127137
715
0.127131
701
0.127125
508
0.127119
514
0.127113
423
0.127107
470
0.127101
409
0.127095
337
0.127089
383
0.127083
365
0.127077
232
0.127071
333
0.127065
244
0.127058
165
0.127052
241
0.127046
212
0.12704
164
0.127034
166
0.127028
249
0.127022
252
0.127016
178
0.12701
148
0.127004
253
0.126998
238
0.126992
278
0.126986
277
0.12698
208
0.126973
183
0.126967
90
0.126961
185
0.126955
133
0.126949
202
0.126943
120
0.126937
224
0.126931
153
0.126925
188
0.126919
127
0.126913
68
0.126907
91
0.126901
304
0.126895
199
0.126889
356
0.126883
192
0.126876
187
0.12687
109
0.126864
322
0.126858
119
0.126852
111
0.126846
138
0.12684
258
0.126834
180
0.126828
96
0.126822
264
0.126816
114
0.12681
144
0.126804
246
0.126798
195
0.126792
215
0.126786
178
0.12678
119
0.126774
128
0.126768
211
0.126761
257
0.126755
70
0.126749
203
0.126743
126
0.126737
279
0.126731
151
0.126725
115
0.126719
192
0.126713
235
0.126707
157
0.126701
120
0.126695
221
0.126689
108
0.126683
201
0.126677
92
0.126671
104
0.126665
230
0.126659
138
0.126653
210
0.126647
145
0.126641
114
0.126635
171
0.126629
127
0.126622
156
0.126616
218
0.12661
194
0.126604
198
0.126598
68
0.126592
187
0.126586
117
0.12658
101
0.126574
191
0.126568
27
0.126562
214
0.126556
168
0.12655
220
0.126544
250
0.126538
193
0.126532
165
0.126526
180
0.12652
74
0.126514
243
0.126508
175
0.126502
132
0.126496
119
0.12649
137
0.126484
132
0.126478
276
0.126472
271
0.126466
209
0.12646
177
0.126454
127
0.126448
180
0.126442
190
0.126436
138
0.12643
117
0.126424
164
0.126418
195
0.126412
261
0.126406
206
0.1264
263
0.126394
118
0.126388
290
0.126381
258
0.126375
219
0.126369
161
0.126363
250
0.126357
82
0.126351
106
0.126345
272
0.126339
192
0.126333
170
0.126327
246
0.126321
42
0.126315
186
0.126309
36
0.126303
194
0.126297
111
0.126291
104
0.126285
264
0.126279
205
0.126273
210
0.126267
277
0.126261
151
0.126255
276
0.126249
175
0.126243
164
0.126237
130
0.126231
220
0.126225
130
0.126219
82
0.126213
181
0.126207
301
0.126201
202
0.126195
222
0.126189
289
0.126183
297
0.126177
212
0.126171
218
0.126165
64
0.126159
325
0.126153
200
0.126147
234
0.126141
166
0.126135
318
0.126129
174
0.126123
276
0.126117
296
0.126111
91
0.126105
228
0.126099
190
0.126093
159
0.126087
230
0.126081
195
0.126075
173
0.126069
182
0.126063
259
0.126058
175
0.126052
245
0.126046
160
0.12604
245
0.126034
201
0.126028
156
0.126022
250
0.126016
255
0.12601
265
0.126004
319
0.125998
287
0.125992
305
0.125986
Edge of wafer exposed by fracturing in air 90 TOA
n-Si<110> CZ  Mitsubishi lot# 280292-00-417
2003
5
10
14
39
7
0
0
XPS
X-RAY Source
1486.6
200
250
1000
55
90
FAT
55.05
1
0
0
1000
2000
55
0
data_4
data_4
-1
Binding energy
eV
542
-0.05
2
counts
d
Transmission
d
pulse counting
0.2
20
4.00E-06
0
0
0
0
802
5673
40447
0.163751
0.167745
6334
0.167745
6518
0.167735
6427
0.167724
6442
0.167714
6512
0.167704
6468
0.167694
6443
0.167684
6427
0.167673
6475
0.167663
6634
0.167653
6549
0.167643
6330
0.167633
6439
0.167622
6465
0.167612
6447
0.167602
6483
0.167592
6409
0.167582
6547
0.167571
6375
0.167561
6426
0.167551
6473
0.167541
6541
0.167531
6475
0.167521
6515
0.16751
6583
0.1675
6337
0.16749
6470
0.16748
6401
0.16747
6373
0.167459
6397
0.167449
6400
0.167439
6615
0.167429
6394
0.167419
6473
0.167409
6351
0.167398
6400
0.167388
6483
0.167378
6383
0.167368
6475
0.167358
6495
0.167348
6386
0.167337
6376
0.167327
6460
0.167317
6473
0.167307
6483
0.167297
6449
0.167287
6417
0.167276
6453
0.167266
6465
0.167256
6465
0.167246
6446
0.167236
6392
0.167226
6461
0.167216
6345
0.167205
6563
0.167195
6377
0.167185
6407
0.167175
6430
0.167165
6594
0.167155
6528
0.167144
6553
0.167134
6492
0.167124
6353
0.167114
6536
0.167104
6564
0.167094
6414
0.167084
6615
0.167074
6660
0.167063
6463
0.167053
6540
0.167043
6470
0.167033
6389
0.167023
6481
0.167013
6437
0.167003
6426
0.166992
6505
0.166982
6596
0.166972
6584
0.166962
6684
0.166952
6482
0.166942
6399
0.166932
6422
0.166922
6593
0.166911
6345
0.166901
6419
0.166891
6453
0.166881
6437
0.166871
6452
0.166861
6505
0.166851
6391
0.166841
6411
0.166831
6434
0.16682
6556
0.16681
6527
0.1668
6434
0.16679
6600
0.16678
6541
0.16677
6518
0.16676
6349
0.16675
6653
0.16674
6397
0.16673
6379
0.166719
6406
0.166709
6584
0.166699
6605
0.166689
6780
0.166679
6468
0.166669
6569
0.166659
6358
0.166649
6689
0.166639
6596
0.166629
6584
0.166619
6561
0.166609
6505
0.166598
6612
0.166588
6503
0.166578
6720
0.166568
6689
0.166558
6683
0.166548
6586
0.166538
6609
0.166528
6723
0.166518
6891
0.166508
6992
0.166498
6838
0.166488
6851
0.166478
6996
0.166467
7003
0.166457
7115
0.166447
7096
0.166437
7099
0.166427
7181
0.166417
7278
0.166407
7317
0.166397
7385
0.166387
7612
0.166377
7712
0.166367
7685
0.166357
8031
0.166347
8115
0.166337
8230
0.166327
8441
0.166317
8622
0.166307
8964
0.166297
9228
0.166286
9353
0.166276
9751
0.166266
10266
0.166256
10594
0.166246
11004
0.166236
11700
0.166226
12297
0.166216
12797
0.166206
13434
0.166196
14426
0.166186
15126
0.166176
15997
0.166166
17183
0.166156
18112
0.166146
19142
0.166136
20264
0.166126
21169
0.166116
22750
0.166106
24255
0.166096
25490
0.166086
26810
0.166076
28042
0.166066
29513
0.166056
30746
0.166046
31994
0.166036
33363
0.166026
34425
0.166016
35718
0.166006
36920
0.165996
37507
0.165986
38047
0.165976
39344
0.165966
39403
0.165956
39850
0.165946
40236
0.165936
40119
0.165926
40447
0.165916
40033
0.165906
40023
0.165896
39314
0.165886
38472
0.165876
37195
0.165866
36554
0.165856
35761
0.165846
34303
0.165836
33844
0.165826
32424
0.165816
31173
0.165806
29601
0.165796
28154
0.165786
26928
0.165776
25527
0.165766
24117
0.165756
23320
0.165746
21627
0.165736
20566
0.165726
19273
0.165716
17914
0.165706
16936
0.165696
15818
0.165686
14842
0.165676
14001
0.165666
13253
0.165656
12478
0.165646
11793
0.165636
11050
0.165626
10573
0.165616
9919
0.165606
9454
0.165596
8997
0.165586
8726
0.165576
8335
0.165566
8258
0.165556
7732
0.165546
7671
0.165536
7441
0.165526
7238
0.165516
7099
0.165506
6924
0.165496
6978
0.165486
6695
0.165476
6640
0.165467
6634
0.165457
6524
0.165447
6556
0.165437
6372
0.165427
6378
0.165417
6272
0.165407
6420
0.165397
6343
0.165387
6147
0.165377
6189
0.165367
6079
0.165357
6245
0.165347
6165
0.165337
6055
0.165327
6184
0.165317
6054
0.165307
6037
0.165297
6049
0.165288
5985
0.165278
6070
0.165268
5995
0.165258
5993
0.165248
5976
0.165238
5983
0.165228
5980
0.165218
6065
0.165208
5990
0.165198
5958
0.165188
6018
0.165178
5963
0.165168
5969
0.165159
5888
0.165149
5869
0.165139
5973
0.165129
5923
0.165119
5847
0.165109
5931
0.165099
5908
0.165089
5884
0.165079
6054
0.165069
5791
0.165059
5843
0.165049
6149
0.16504
5841
0.16503
5961
0.16502
5929
0.16501
5969
0.165
5913
0.16499
5992
0.16498
5882
0.16497
5937
0.16496
5882
0.16495
5845
0.164941
5867
0.164931
5932
0.164921
5841
0.164911
5721
0.164901
5827
0.164891
5885
0.164881
5889
0.164871
5938
0.164861
5845
0.164852
6056
0.164842
5906
0.164832
5955
0.164822
5893
0.164812
5827
0.164802
5933
0.164792
5801
0.164782
5904
0.164773
5781
0.164763
5888
0.164753
6009
0.164743
5970
0.164733
5961
0.164723
5870
0.164713
5840
0.164703
5791
0.164694
5940
0.164684
5880
0.164674
5986
0.164664
5904
0.164654
5867
0.164644
5765
0.164634
5836
0.164625
5936
0.164615
5852
0.164605
5803
0.164595
5906
0.164585
5947
0.164575
5766
0.164565
5844
0.164556
5948
0.164546
5866
0.164536
5873
0.164526
5865
0.164516
6020
0.164506
5877
0.164496
5698
0.164487
5855
0.164477
5733
0.164467
5856
0.164457
5730
0.164447
5886
0.164437
5842
0.164428
5985
0.164418
5849
0.164408
5787
0.164398
5872
0.164388
5917
0.164378
5890
0.164369
5673
0.164359
6101
0.164349
5824
0.164339
5700
0.164329
5826
0.164319
5811
0.16431
5799
0.1643
5965
0.16429
5936
0.16428
5860
0.16427
5840
0.164261
5869
0.164251
5938
0.164241
5871
0.164231
5856
0.164221
5839
0.164211
5984
0.164202
5781
0.164192
5941
0.164182
5840
0.164172
5826
0.164162
5814
0.164153
5852
0.164143
5907
0.164133
5858
0.164123
5925
0.164113
5834
0.164104
5820
0.164094
5801
0.164084
5906
0.164074
5930
0.164064
5863
0.164055
5803
0.164045
5947
0.164035
5881
0.164025
5874
0.164015
5860
0.164006
5958
0.163996
5946
0.163986
5964
0.163976
5880
0.163966
5867
0.163957
5913
0.163947
5859
0.163937
5842
0.163927
5922
0.163918
5814
0.163908
5801
0.163898
5918
0.163888
5908
0.163878
5804
0.163869
5768
0.163859
5909
0.163849
5748
0.163839
6040
0.16383
5760
0.16382
5910
0.16381
5965
0.1638
5927
0.163791
5842
0.163781
5795
0.163771
5714
0.163761
5839
0.163751
Edge of wafer exposed by fracturing in air 90 TOA
n-Si<110> CZ  Mitsubishi lot# 280292-00-417
2003
5
10
14
39
8
0
0
XPS
X-RAY Source
1486.6
200
250
1000
55
90
FAT
55.05
1
0
0
1000
2000
55
0
data_5
data_5
-1
Binding energy
eV
107
-0.05
2
counts
d
Transmission
d
pulse counting
0.2
40
4.00E-06
0
0
0
0
402
982
113488
0.107612
0.10851
4900
0.10851
4936
0.108505
4841
0.108501
5013
0.108496
4834
0.108492
4821
0.108487
4899
0.108483
4850
0.108478
4765
0.108473
4922
0.108469
4742
0.108464
4895
0.10846
4802
0.108455
4738
0.108451
4779
0.108446
4640
0.108442
4683
0.108437
4659
0.108433
4742
0.108428
4746
0.108424
4694
0.108419
4737
0.108415
4503
0.10841
4668
0.108406
4637
0.108401
4584
0.108397
4539
0.108392
4557
0.108388
4570
0.108383
4665
0.108379
4638
0.108374
4659
0.10837
4758
0.108365
4681
0.108361
4646
0.108356
4761
0.108352
4715
0.108347
4880
0.108343
5000
0.108338
5179
0.108334
5162
0.108329
5398
0.108325
5344
0.10832
5676
0.108315
5863
0.108311
5820
0.108306
6087
0.108302
6214
0.108297
6589
0.108293
6707
0.108288
7019
0.108284
7131
0.108279
7528
0.108275
7670
0.10827
7861
0.108266
8218
0.108261
8339
0.108257
8630
0.108252
8935
0.108248
9142
0.108243
9175
0.108239
9456
0.108234
9613
0.10823
9669
0.108225
9950
0.108221
9855
0.108216
9939
0.108212
10168
0.108207
10188
0.108203
10074
0.108198
9970
0.108194
9999
0.108189
9786
0.108185
9733
0.10818
9665
0.108176
9453
0.108171
9183
0.108167
8842
0.108162
8928
0.108158
8651
0.108153
8427
0.108149
8203
0.108144
8172
0.10814
7730
0.108135
7561
0.108131
7399
0.108126
7422
0.108122
7206
0.108118
7033
0.108113
6885
0.108109
6755
0.108104
6636
0.1081
6360
0.108095
6357
0.108091
6183
0.108086
6100
0.108082
5965
0.108077
5912
0.108073
5870
0.108068
5831
0.108064
5669
0.108059
5562
0.108055
5427
0.10805
5505
0.108046
5434
0.108041
5547
0.108037
5586
0.108032
5676
0.108028
5590
0.108023
5617
0.108019
5861
0.108014
5778
0.10801
5936
0.108005
6150
0.108001
6343
0.107996
6605
0.107992
6970
0.107987
7046
0.107983
7628
0.107978
8004
0.107974
8703
0.107969
9576
0.107965
10698
0.107961
11677
0.107956
13330
0.107952
15590
0.107947
17835
0.107943
20602
0.107938
24129
0.107934
27976
0.107929
32883
0.107925
38335
0.10792
43920
0.107916
50495
0.107911
56874
0.107907
62626
0.107902
68844
0.107898
73500
0.107893
78193
0.107889
81131
0.107884
83843
0.10788
86374
0.107875
89419
0.107871
92074
0.107867
95827
0.107862
100230
0.107858
104278
0.107853
109807
0.107849
111799
0.107844
113488
0.10784
112485
0.107835
108066
0.107831
102310
0.107826
92637
0.107822
81405
0.107817
70123
0.107813
58542
0.107808
46740
0.107804
36581
0.107799
28074
0.107795
21328
0.107791
16038
0.107786
12452
0.107782
9589
0.107777
7673
0.107773
6291
0.107768
5112
0.107764
4541
0.107759
3928
0.107755
3513
0.10775
3164
0.107746
2955
0.107741
2791
0.107737
2555
0.107732
2434
0.107728
2235
0.107724
2226
0.107719
2003
0.107715
2017
0.10771
1922
0.107706
1772
0.107701
1673
0.107697
1706
0.107692
1602
0.107688
1448
0.107683
1414
0.107679
1405
0.107675
1367
0.10767
1328
0.107666
1279
0.107661
1209
0.107657
1219
0.107652
1141
0.107648
1175
0.107643
1162
0.107639
1097
0.107634
1003
0.10763
999
0.107625
1001
0.107621
998
0.107617
982
0.107612
Edge of wafer exposed by fracturing in air 90 TOA
n-Si<110> CZ  Mitsubishi lot# 280292-00-417
2003
5
10
14
39
8
0
0
XPS
X-RAY Source
1486.6
200
250
1000
55
90
FAT
29.68
1
0
0
1000
2000
55
0
data_6
data_6
-1
Binding energy
eV
107
-0.05
2
counts
d
Transmission
d
pulse counting
0.2
40
4.00E-06
0
0
0
0
402
152
19836
0.143926
0.14497
814
0.14497
767
0.144964
760
0.144959
785
0.144954
731
0.144949
693
0.144943
697
0.144938
728
0.144933
810
0.144928
747
0.144922
738
0.144917
760
0.144912
749
0.144907
716
0.144901
779
0.144896
728
0.144891
738
0.144886
665
0.14488
682
0.144875
701
0.14487
710
0.144865
738
0.144859
756
0.144854
668
0.144849
677
0.144844
687
0.144838
664
0.144833
696
0.144828
716
0.144823
727
0.144817
689
0.144812
618
0.144807
719
0.144802
685
0.144796
664
0.144791
717
0.144786
767
0.144781
684
0.144775
699
0.14477
761
0.144765
762
0.14476
809
0.144754
795
0.144749
794
0.144744
804
0.144739
858
0.144734
831
0.144728
868
0.144723
1000
0.144718
951
0.144713
1000
0.144707
1022
0.144702
1082
0.144697
1156
0.144692
1112
0.144686
1213
0.144681
1227
0.144676
1286
0.144671
1289
0.144665
1349
0.14466
1327
0.144655
1443
0.14465
1444
0.144645
1423
0.144639
1464
0.144634
1547
0.144629
1505
0.144624
1582
0.144618
1504
0.144613
1477
0.144608
1528
0.144603
1480
0.144597
1559
0.144592
1447
0.144587
1399
0.144582
1514
0.144577
1477
0.144571
1367
0.144566
1355
0.144561
1252
0.144556
1303
0.14455
1264
0.144545
1161
0.14454
1220
0.144535
1179
0.14453
1124
0.144524
1157
0.144519
1065
0.144514
1018
0.144509
1070
0.144503
1059
0.144498
961
0.144493
948
0.144488
948
0.144483
979
0.144477
926
0.144472
943
0.144467
858
0.144462
819
0.144456
886
0.144451
841
0.144446
794
0.144441
858
0.144436
788
0.14443
790
0.144425
777
0.14442
757
0.144415
740
0.14441
834
0.144404
834
0.144399
777
0.144394
772
0.144389
832
0.144383
881
0.144378
870
0.144373
883
0.144368
938
0.144363
948
0.144357
1042
0.144352
1029
0.144347
1083
0.144342
1228
0.144337
1310
0.144331
1446
0.144326
1598
0.144321
1939
0.144316
2100
0.144311
2492
0.144305
2911
0.1443
3443
0.144295
4159
0.14429
4970
0.144285
5753
0.144279
7085
0.144274
8177
0.144269
9391
0.144264
10555
0.144259
11564
0.144253
12483
0.144248
12972
0.144243
13179
0.144238
13162
0.144233
13064
0.144227
12958
0.144222
13235
0.144217
14364
0.144212
15288
0.144207
16543
0.144201
17866
0.144196
19165
0.144191
19836
0.144186
19413
0.144181
18592
0.144175
16501
0.14417
14183
0.144165
11514
0.14416
9007
0.144155
6736
0.144149
4832
0.144144
3645
0.144139
2600
0.144134
1911
0.144129
1414
0.144123
1082
0.144118
859
0.144113
710
0.144108
608
0.144103
490
0.144097
441
0.144092
356
0.144087
344
0.144082
301
0.144077
294
0.144071
254
0.144066
211
0.144061
225
0.144056
226
0.144051
221
0.144046
246
0.14404
215
0.144035
232
0.14403
198
0.144025
202
0.14402
187
0.144014
184
0.144009
203
0.144004
194
0.143999
184
0.143994
199
0.143988
169
0.143983
175
0.143978
152
0.143973
185
0.143968
174
0.143963
161
0.143957
185
0.143952
166
0.143947
167
0.143942
184
0.143937
169
0.143931
188
0.143926
end of experiment
